非活性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等，氧气等离子体清洗活性气体如氧气(O2)、氢气(H2)等，不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同活性气体的等离子体具有更强的化学反应活性，后面将结合具体的应用实例介绍。。在科技飞速发展的时代，等离子体清洗技术的出现大大提高了
